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日本napson硅片晶圓平整度測量系統(tǒng)

日本napson硅片晶圓平整度測量系統(tǒng)

產(chǎn)品型號: FLA-200

所屬分類:

產(chǎn)品時間:2024-09-07

簡要描述:日本napson硅片晶圓平整度測量系統(tǒng)FLA-200
非接觸式平面度/厚度測量系統(tǒng)。測量晶片樣品的平整度(TTV,BOW,WARP)和厚度。
-支持測量厚度,TTV,BOW,翹曲,場地平面度和整體平面度(符合ASTM)
?支持2-D和3-D映射顯示的軟件
?數(shù)據(jù)可以輸出為CSV文件
?使用5mmφ芯電容探頭進行高精度測量
? 60秒內(nèi)進行12,000點掃描/高速測量

詳細說明:

日本napson硅片晶圓平整度測量系統(tǒng)FLA-200

產(chǎn)品特點

非接觸式平面度/厚度測量系統(tǒng)。測量晶片樣品的平整度(TTV,BOW,WARP)和厚度。

  • -支持測量厚度,TTV,BOW,翹曲,場地平面度和整體平面度(符合ASTM)
  • ?支持2-D和3-D映射顯示的軟件
  • ?數(shù)據(jù)可以輸出為CSV文件
  • ?使用5mmφ芯電容探頭進行高精度測量
  • ? 60秒內(nèi)進行12,000點掃描/高速測量

測量目標

?半導體/太陽能電池材料相關(硅,多晶硅,SiC等)
?硅基外延,離子注入樣品
?化合物半導體相關(GaAs Epi,GaN Epi,InP,Ga等)

測量尺寸

3-8英寸

測量范圍

厚度:200 –1200μm
弓形:+/- 350μm
翹曲:350μm

 

產(chǎn)品特點

非接觸式平面度/厚度測量系統(tǒng)。測量晶片樣品的平整度(TTV,BOW,WARP)和厚度。

  • -支持測量厚度,TTV,BOW,翹曲,場地平面度和整體平面度(符合ASTM)
  • ?支持2-D和3-D映射顯示的軟件
  • ?數(shù)據(jù)可以輸出為CSV文件
  • ?使用5mmφ芯電容探頭進行高精度測量
  • ? 60秒內(nèi)進行12,000點掃描/高速測量


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