智能真空計可以測量殘留氣體的成分，因此即使在抽氣過程中，您也可以快速檢查真空設(shè)備的健康狀況，例如泄漏和水蒸氣脫氣。下面的兩張圖顯示了同一裝置的不同排氣數(shù)據(jù)，在圖1中，顯示了正常排氣，水蒸氣是主要成分并決定了總壓力真空，而在圖2中，氮?dú)庥捎谛孤┒Ｖ?。向下排氣開始后約5分鐘，如果繼續(xù)排氣約10分鐘，則氮?dú)獾牧孔兊枚嘤谒魵猓⑶铱倝汉驼婵斩鹊慕档屯Ｖ?。通過使用智能真空計，您可以快速發(fā)現(xiàn)僅通過監(jiān)測總壓力和真空度無法檢測到的排氣異常及其原因。

圖1

圖2

智能真空計不僅可以讓您知道是否存在泄漏，還可以噴射氦氣或氬氣來定位泄漏位置。圖3顯示了在泄漏位置噴射氬氣時智能真空計的數(shù)據(jù)，氬氣增加而氮?dú)鉁p少表明存在泄漏。泄漏停止后，如圖4所示，氮?dú)夂脱鯕鉁p少，水蒸氣成為主要成分，成為典型真空裝置的殘余氣體成分。

圖3

圖4